ＳＭＴにおいてメタルマスクの開口形状や寸法は品質に重大な影響を及ぼすパラメータの一つですが、その決定手順は明確に決まっているわけではありません。また同じチップ部品に対してもパッド寸法は各社ばらばらで、それに対して最適な開口を求めるのは至難の業です。

ここでは、これまでの失敗も含め1005チップにおいての開口寸法とその結果を記載します。皆さんの参考になれば幸いです。なお内容は不定期に順次更新されます。

以下いずれも断り書きがない場合は、メタルマスク厚み0.1mmです。